高純氬在半導體(ti)工業中(zhong)用(yong)作生產高純硅(gui)和鍺(zang)晶體(ti)的保護(hu)(hu)氣(qi)體(ti)；可用(yong)作系統清洗(xi)、屏(ping)蔽和增壓用(yong)的惰性氣(qi)體(ti)；在化(hua)學氣(qi)相沉積、濺(jian)射和退火等工藝中(zhong)有所應(ying)用(yong)。高純氬也可作為(wei)色譜載氣(qi)。氬被廣泛用(yong)來(lai)充(chong)填(tian)弧光(guang)燈、熒光(guang)燈和電子管(guan)；焊接保護(hu)(hu)氣(qi)；在鈦、鈷(gu)和其他活(huo)性金屬的生產中(zhong)用(yong)作屏(ping)蔽氣(qi)；在黑色冶金中(zhong)用(yong)于吹煉特種(zhong)鋼。
在金屬冶煉(lian)方面，氧、氬吹煉(lian)是(shi)生產優(you)質鋼的重要(yao)措施，每煉(lian)1t鋼的氬氣消耗(hao)量為1～3m3。此外，對(dui)鈦、鋯、鍺等特殊(shu)金屬的冶煉(lian)，以及電子工(gong)業中也需(xu)要(yao)用氬作保護(hu)氣。